• 真空度測(cè)試儀接線說明

讓滅孤室兩觸頭處于分開狀態(tài)，然后繞上磁控電圈，再把磁控線圈的兩個(gè)插頭插到磁控電流輸出的兩個(gè)紅黑插頭上。另外，高壓線與離子線分別接在真空泡的兩個(gè)觸頭上（動(dòng)、觸頭不分）。

• 按鍵說明

面板上所有的按鍵，若其上的小指示燈亮則表示按鍵有效，反之，則無效。若該鍵有效時(shí)，再按該鍵，則指示燈滅，該鍵處于無效狀態(tài)。

• 測(cè)試步驟方法

• 開機(jī)

檢查接線正確后，方可開機(jī)。將儀器面板上的電源開關(guān)鍵按向“開”位置，數(shù)碼顯示屏的*即出現(xiàn)“P”字，經(jīng)校驗(yàn)(3.2步驟)正常后, 說明儀器運(yùn)行正常，預(yù)熱5分鐘后便可進(jìn)行測(cè)量.

• 儀器檢查

執(zhí)行該功能，校驗(yàn)儀器及自檢功能。順序按【選擇鍵】、【校驗(yàn)鍵】、【測(cè)量鍵】，使其有效。使用上下鍵調(diào)節(jié)檢查參數(shù)（管型顯示處）

• 選擇參數(shù)1～3采樣放大器檢查：

調(diào)至1時(shí)，顯示值均0.000---9.000×10^-6之間；

調(diào)至2時(shí)，顯示值均0.000---9.000×10^-5之間；

調(diào)至3時(shí)，顯示值均0.000---9.000×10^-4之間；

• 選擇參數(shù)4充電控制檢查：

調(diào)至4時(shí)，充電回路接通，終將電容電壓控制在350V。

• 選擇參數(shù)5，顯示器檢查：

此時(shí)，顯示器逐筆點(diǎn)亮，六位一致不多筆畫少筆畫。檢查完畢需按【復(fù)位鍵】。

選擇參數(shù)6，啟動(dòng)高壓：

這時(shí)，高壓指示燈亮，高壓產(chǎn)生，顯示器后四位顯示高壓值，單位是萬伏。做該項(xiàng)檢查時(shí)，注意高壓線位置，以免發(fā)生危險(xiǎn)。

• 選擇參數(shù)7，內(nèi)部數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器檢查：

   儀器內(nèi)計(jì)算機(jī)對(duì)內(nèi)部數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器進(jìn)行嚴(yán)格檢查，顯示器顯示出正在接受檢查的單元的地址，若出錯(cuò)，則計(jì)算機(jī)停止檢查，顯示器的值即是出錯(cuò)地址。單元編號(hào)以8000H—9FFFH，當(dāng)接近9FFFH時(shí)，按住上下鍵，則檢查結(jié)束時(shí)，退出該項(xiàng)檢查，反之，則重復(fù)檢查。

• 管型選擇
  • 測(cè)量時(shí)，首先確認(rèn)真空泡管型。參照說明書內(nèi)附錄一或附錄二。將真空泡管型對(duì)
    應(yīng)的曲線號(hào)輸入儀器顯示窗口管型內(nèi)。
  • 若說明書中沒有標(biāo)明所測(cè)量的管型時(shí)，可于現(xiàn)場量出真空泡直徑（外徑），尋找
    對(duì)應(yīng)的曲線號(hào)即可。應(yīng)注意的是測(cè)量時(shí)尺寸盡量相近，并且接線方式相同。
  •    使【選擇鍵】有效，然后用↑鍵↓鍵調(diào)整管型參數(shù)，調(diào)出所需的曲線號(hào)（詳見第二章儀器介紹/性能特點(diǎn)/第三節(jié)）
  • 如果沒有可代用的參數(shù)，則可使【校驗(yàn)鍵】有效，這樣可直接給出電離電流，一

般來說，電離電流（A）較真空度（Pa）小兩個(gè)數(shù)量級(jí)左右。

• 被測(cè)管型是10KV以上選用選擇開關(guān)高檔位，10KV以下選用選擇開關(guān)低檔位。

3.4 測(cè)量

• 管型確定后，按下【選擇鍵】退出選擇，按下【測(cè)量鍵】。儀器便自動(dòng)完成所有

的測(cè)量、計(jì)算、顯示等全過程。若此時(shí)按下打印鍵，則打印測(cè)量結(jié)果。

• 儀器內(nèi)計(jì)算機(jī)執(zhí)行測(cè)量步驟如下：

啟動(dòng)高壓→測(cè)漏電電流→關(guān)閉高壓→接通充電開關(guān)→電壓到規(guī)定值→啟動(dòng)磁控電流，測(cè)量漏電電流+電離電流，→扣除漏電電流→電流轉(zhuǎn)變成真空度值→顯示。若【校驗(yàn)鍵】有效，則顯示電流值